PECVD-Anlage PlasmaTherm Typ SLR 770

Artikelnummer: PECVD

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  • Anlage von "PlasmaTherm", Typ SLR 770
  • Hersteller:  
    • Plasma-Therm, Inc.
    • 9509 International Court
    • St. Petersburg, Fl 33716
    • (813)577-4999
  • Allgemeine Infos: (Auszug aus dem Users Manual):
    • „PlasmaTherm's SLR770 Series systems are designed to provide plasma scientists with a flexible and cost effective platform for load locked high conductance processes including Reactive Ion Etching, Plasma Etching, and Electron Cyclotron Resonance. The specification of an SLR770 Series system consists of starting with the „Primary Module“, and then simply adding options which are appropriate to current and anticipated process requirements and budget.
    • The SLR770 base unit or „Primary Module, (PM)“ contains the RF generator and matching network, power distribution circuitry, fluid distribution panel, gas handling system enclosure, 250mm vacuum connection, and the 80486 based control computer. [...]“
    • Die Anlage beinhaltet unter anderem folgende Komponenten:
      • Massenflussregler / Mass Flow Controller
      • Inertgas-Spülung
      • Widerstandsheizung für die Subtrat-Elektrode
      • Astex 1 kW Plasmaquelle mit automatischem Anpassungs-Netzwerk sowie Shuttle Lock Option
      • Shuttle Lock Pedestal Option
  • Zustand:   
    • Übliche Gebrauchsspuren
    • bis zur Außerdienststellung voll funktionsfähig.
    • Die Anlage stand ausschließlich im Reinraum und wurde dort auch abgebaut.
    • Laufzeit: 1995 bis März 2008
  • Möglicher Einsatz /
    • lt. vorherigem Besitzer (Fraunhofer Institut) wurde die Anlage für Plasma unterstützte CVD (plasma   enhanced CVD, PECVD) eingesetzt, beispielsweise zur  Erzeugung von SiO2-Schichten/Mikrostrukturen.
  • Handbücher   
    • 5 kleine Handbücher: (A)
              (C),Ia & Ib sowie
              (C),IIa & IIb
    • 2 große Handbücher: (B)
    • 1 Zusatz-Handbuch:  MKS Type 290C
    • Insgesamt ist die komplette Dokumentation in drei Teilen beschrieben:
      • (A)  User's Manual:
        Beschreibung des Equipments in allgemeinen und spezifischen Teilen, umfasst Informationen bezüglich der Installation, Schrittweise Anleitung der  Systembedienung vom Start bis zu Herunterfahren. Zudem gibt dieses Manual einen vorgschlagenden Zeitraum für Instandsetzungen an. 
        Insbeondere enthält dieses Handbuch Installations-Anweisung für die Versorgung mit Wasser-, Strom- und Druckluft, zum Betriebssystem (Computer-Software) oder der eingebauten MFC; Details siehe weiter unten.
      • (B)  Service Documatation
        Zusammenfassung und Sammlung aller Schemata und Skizzen, Montagezeichungen sowie Listen aller relevanten Bau- und Ersatzteile. 
      • (C) Equipment Manual
        Geordnete Zusammenfassung aller Manuals von Geräten, die ggf. eingebaut   und vom ursprünglichen Hersteller zur Verfügung gestellt wurden
      • !!!  
    • Auszug aus dem „Configuration Certificate“:
      • Customer:  Fraunhofer Gesellschaft, München
      • Sytem Type:  SLR 770 ECR = Electron Cyclotron Resonance. Es handelt sich    dabei um eine Kombination, bei welcher the untere Elektrode mit der    RF versorgt wird und Temperatur geregelt ist. Die ECR-Quelle besteht    aus einem Abstimmer, einer Hochleistungsquelle mit Elektromagnet    sowie einem Mikrowellen- Netzteil.
      • Software Revision:SLR 1.60
      • Computer:  486
      • RF Matching Network:  PlasmaTherm, AM-5 (fixed capacitance loading: 400pF,
           Tuning coil: 4 turns, DC Probe Range: 1000 Volts
      • Matching Network Power Supply: Model No. PS-2A
      • Ion Gauge Controller:  Chamber: MKS, Model No. 290C-01 Lock:  MKS, Model No. 290C-01
      • Thermocouple Gauge Controller: MKS, Model No. 286
      • Heater Controller: PlasmaTherm, Model No. 945
      • RF Generator: RFPP, Model No. RF-5S  Output Power: 500W,  f = 13.56 Mhz
      • RF Generator or µ-Wave:  ASTEX Output Power: 1000W @ f = 2.45 µ Hz
      • Upper Magnet Power Supply: ASTEX, Model No. 004731063
      • Upper Magnet: ASTEX, Model No. 185 AMP
      • Microwave Remote Power Head: ASTEX, Model No. SXRHA
      • Three Stub Tuner: ASTEX, Model No. AX3041
      • Dummy Load: ASTEX, Model No. LS
      • Three Way Circulator:  ASTEX, Model No. AX3120
      • VAT Exhaust Valve
        Controller:  VAT, Model No. 641PM-16PL
      • VAT Exhaust Valve:VAT, Serial No. F64-78971/002
      • Vacuum System:
        • Vorvakuumpumpen:
        • 1. Drehschieberpumpe, Leybold TRIVAC D16A, Ölfüllung: "HE 175"
          2. Drehschieberpumpe, Leybold D65BCS, Ölfüllung: „Fomblin“
        • Turbo Pump
          Main Chamber: Leybold, Turbovac 1000C mit Netzteil NT 20
        • Lock Chamber: Base Pressure Setpoint: 1x 10-5
             Time from ATM – Base Pressure: 2 min.
             Vent Time: 3 min.
             Leak Rate over 30 minutes: 0.07  mTorr/min.
      • Lock ATM and
        Process Limit Mano: MKS, Model No. 623A 13TDE
      • Chamber 1
        Type SLR770: Pressure/Volume Constant: 13.25 mTorr/cc
           Vent Time: 3 min.
           Leak Rate over 30 minutes: 0.05  mTorr/min.
      • Chamber 1 ATM &
        Process Limit Mano: MKS, Model No. 623A 13TCE
      • Chamber 1
        Process Manometer: MKS, Model No. 627A 1TCD
      • Gas Panel
        Chamber 1:  CH1 bis CH6, MFC Gas: N2
           CH7 und CH8 ohne Angabe
      • Fluid Input Panel: Air Regulator:   Setting 80 psi, Pressure Switch 60 psi
           Input Requirements:  Compressed Air 80 psi, Nitrogen 20 psi,
               Water 40 psi
      • System Power Center:
      • Mfgr: Square D, Model No. 5QG81
        Line Voltage: 380 VAC, Maximum current: 100 Amps (5 Wire)
      •   (C) Ia  SLR770 SERIES Plasma Processing System
            Equipment Manual VOL 1
      • • Model AM-5, Automatic Matching Systems, Instruction Manuel
        • MKS Type 286 Thermal Conductivity Vacuum Gauge Controller
        and Type TC-1 Gauge
        • MKS Baratron Types 623A, 624A and 625A – Absolute Pressure Transducers
        • MKS Baratron Types 622A /  626A / 627A / 628A / 629A
        – Absolute Pressure Transducers
        • MODEL AX4400 ECR Plasma Source, Operation Manual
        • Astex S-1000i Microwave Power Generator, User Manual,
        Frequency: 2455+/- 15 Mhz
        • EMS Power Supply, Instruction Manual

      •   (C) IIa  SLR770 SERIES Plasma Processing System
            Equipment Manual VOL 1
      • • Leybold, Turbotronik NT 1000/1500VH, Manual
        • Leybold, Turbovac 1000/1000C, Manual
        • Leybold, TMP 151/361 & NT 150/360 Turbopumps, Manual
        • Leybold, TRIVAC „A“, Dual Stage Rotary Vane Pump, Manual
        • Leybold, Turbotronik NT20, Manual
        • Leybold, TRIVAC BCS (S/D 40 BSC, S/D 65 BCS), Manual
        • VAT, Adaptive Pressure Controller PM-4 / PM-5
        • VAT, Series 64, Control Gate Valve, Stepper Motor, Installation and
        Operating Instructions

      •   (C) Ib  SLR770 SERIES Plasma Processing System
            Equipment Manual VOL 1
            (andere Version / Ergänzungen)
      • • Matching Network, AM-5
        • RF Generator RF-5
        • MKS Type 286 Thermal Conductivity Vacuum Gauge Controller
        and Type TC-1 Gauge
        • MKS Type 290C Charge Rate(R) Ion Gauge Controller, Manual
        • MKS Baratron Types 623A, 624A and 625A – Absolute Pressure Transducers
        • MKS Mass-Flo(R) Controller, Types 1159B / 2159B, 1160B/2160B, 1162B/2162B, 1163B/2163B, Manual
        • MODEL AX4400 ECR Plasma Source, Operation Manual
        • Astex S-1000i Microwave Power Generator, User Manual,
        Frequency: 2455+/- 15 Mhz
        • EMS Power Supply, Instruction Manual

      •   
          (C) IIb SLR770 SERIES Plasma Processing System
            Equipment Manual VOL 2
            (andere Version / Ergänzungen)
      • • Leybold, Turbovac 1000/1000C, Manual
        • Leybold, TMP 151/361 & NT 150/360 Turbopumps, Manual
        • Leybold, TRIVAC „A“, Dual Stage Rotary Vane Pump, Manual
        • Leybold, Turbotronik NT20, Manual
        • Leybold, TRIVAC BCS (S/D 40 BSC, S/D 65 BCS), Manual
    • Zusatz-Manual:
      •   MKS Type 290C Charge Rate(R) Ion Gauge Controller (Original Manual)
      •   (B)  SLR770 SERIES Plasma Processing System
            Service Documentation
            (zweifache Ausführung: Original sowie Kopie!)
  • Web-Link von Fotos:
  • Aus den Fotos entnommen:
    • Vorpumpe I: zweistufige Drehschieberpumpe, Leybold TRIVAC D16A, Ölfüllung: "HE 175"
    • Vorpumpe II: zweistufige Drehschieberpumpe, Leybold D65BCS mit Filter ??? (siehe Foto Nr. 7)
    • Turbopumpe Leybold, Turbovac 1000C (fettgeschmierte Keramik-Lager) mit Netzteil Turbotronik NT20 sowie Plattenschieberventil (Foto Nr. 16 + 19)
    • 2x MKS Baratron-Messröhre (Foto Nr. 17) mit Anzeige-Instrument
      für "Process Chamber" sowie "Loadlock" (Foto Nr. 25)
    • 8x Massenflußregler (MFC), (Foto 18)
    • HPS Devision, 937 Gauge Controller (Foto Nr. 21)
    • RF-Generator: RFPP (Foto 25)
    • ??? "Blaues Gerät" auf Foto Nr. 30
    • Foto 33 -> Leybold Netzteil NT20 vs. Foto 35 Netzteil (älter?!), Laufzeit: 4902h !! (gut)
    • RF-Generator auf Foto 33: AX2110
  • Lieferung:
    • Selbstabholung bevorzugt, Standort: Kalletal (A2, zwischen Bielefeld und Hannover; bei Lemgo)
    • Beauftragung einer Spedition durch den Käufer möglich (bitte noch 25kg und Palettenhöhe hinzurechnen) Die Verzurrung auf einer Einwegpalette übernehmen wir kostenlos, schließen aber jede Haftung und Gewährleistung hierfür aus.
    • Lieferung per Spedition innerhalb Deutschlands bei Beauftragung durch uns: ca. 420Euro brutto
    • Lieferung ins Ausland möglich, die Kosten dafür können Sie z.B. bei iloxx berechnen lassen. Der angegebene Wert von 2000 ist frei aus der Luft gegriffen, weil ebay einen Eintrag verlangt
    • Unter Umständen können wir das Gerät auch günstig persönlich ausliefern und Ihnen beim Aufbau behilflich sein, sprechen Sie uns an. Je nach Standort könnten Sie auf einer unserer Touren liegen und dann sehr günstig beliefert werden
    • Nach Überweisung des Kaufpreises kann der Artikel bis zu 3 Monate kostenlos von uns eingelagert werden, z.B. um ihn selbst abzuholen. 

 

 

 

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